不同真空泵的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。